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上海芯源微首台化学洗涤机KS-CM300顺利启运出厂

文章出处:小九NBA直播在线观看高清    人气:909    发表时间:2024-09-24 02:30:03

  上证报中国证券网讯(记者 韩远飞)8月30日,上海芯源微首台化学洗涤机KS-CM300机台从飞渡路厂区顺利启运出厂。KS-CM300单片式化学洗涤机是上海芯源微自主研发的首款高端设备,适用于Pre-deposition、Post-thinfilm、Post-etch、Post-imp、Post-CMP、PR-strip、NiPtremove等多种工艺,机台所用高温SPM清洗工艺被业界公认为对28nm/14nm制程性能要求最高的工艺之一,也是业内最具难度和挑战的湿法工艺。

  公司研发的该款设备机台性能及工艺技术致力于达到国际领先水平,可以在一定程度上完成26纳米以下少于30个剩余颗粒的处理,在连续跑片十万片条件下,可实现用户Up-Time≥95%、刻蚀均一性≤2%等严苛性要求,其研发与验证有望解决国内客户的需求,对推动国产高端半导体清洗装备的发展具备极其重大战略意义,也是公司拓展前道化学洗涤领域的重要里程碑。

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  近期的平均成本为59.71元。空头行情中,目前正处于反弹阶段,投资的人可适当关注。该股资金方面呈流出状态,投资者请谨慎投资。该公司运营状况良好,多数机构觉得该股长期投资价值较高。


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